電子工業(yè)純水：
電子工業(yè)生產(chǎn)所需的純化水的通稱。隨著電子器件從電子管、半導(dǎo)體、集成電路直至超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，制造工藝過程用水的水質(zhì)不斷提高，水質(zhì)指標(biāo)主要為電解質(zhì)（通常以電阻率表征）的也可以稱為脫鹽水（去離子水）；水質(zhì)指標(biāo)不但有電解質(zhì)（通常以電阻率和對某些離子含量指標(biāo)共同表征）而非電解質(zhì)（微粒、有機(jī)物、細(xì)菌、溶解氧和二氧化硅等）指標(biāo)可以成為電子級純水。隨著電器器件不斷維系化，水質(zhì)指標(biāo)不斷提高又有高純水、超純水（UPW）之稱。

根據(jù)電子工業(yè)部GB 51035-2014電子工業(yè)純水系統(tǒng)安裝與驗收規(guī)范總規(guī)定：

1. 電子工業(yè)純水系統(tǒng)流程和設(shè)備的選擇應(yīng)根據(jù)對產(chǎn)品水的要求、原水水質(zhì)并綜合處理效果、提高水的利用率、節(jié)能、環(huán)保等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。
2. 電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)最終水質(zhì)要求選擇最簡捷、最有效的處理流程和可靠的處理設(shè)備。
3. 純水站的產(chǎn)水量應(yīng)根據(jù)各種產(chǎn)品水量加系統(tǒng)自用水量確定。
4. 設(shè)計前應(yīng)取得全部可利用水源的水質(zhì)全分析資料，選擇有代表性的水質(zhì)分析資料作為設(shè)計依據(jù)。需取得水質(zhì)資料的份數(shù)宜符合下列要求。
1 ）當(dāng)水源為地表水時宜取得全年逐月水質(zhì)資料；
2 ）當(dāng)水源為地下水時宜取得全年每季的水質(zhì)資料。
3 ）當(dāng)無法得到逐月或逐季資料時，應(yīng)掌握水質(zhì)隨季節(jié)的變化規(guī)律。
4）.對可能受到海水倒灌或其它因素影響的水源，應(yīng)掌握由此而引起的水質(zhì)變化情況。對于回用水，應(yīng)掌握其來源與組成。

工藝流程規(guī)定：
電子工業(yè)純水系統(tǒng)一般由預(yù)處理－脫鹽及深度處理－精處理（拋光）三個處理階段組成，各階段應(yīng)達(dá)到的目標(biāo)宜符合下列要求。
1 預(yù)處理階段水質(zhì)應(yīng)滿足脫鹽裝置進(jìn)水水質(zhì)的要求；
2 脫鹽及深度處理階段產(chǎn)水水質(zhì)應(yīng)盡可能接近最終純水水質(zhì)要求；
3 精處理（拋光）階段應(yīng)保證不間斷地保證最終用戶水質(zhì)、水量和水壓等要求。

預(yù)處理系統(tǒng)：

預(yù)處理系統(tǒng)需要達(dá)到的水質(zhì)指標(biāo)應(yīng)根據(jù)所選脫鹽裝置的進(jìn)水水質(zhì)要求確定。當(dāng)后續(xù)處理單元采用反滲透時，預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置有效防止懸浮物和膠體、結(jié)垢、生物、有機(jī)及鐵錳等污染的措施。當(dāng)原水濁度較高時宜采用凝聚澄清－過濾工藝，設(shè)計參數(shù)可參照有關(guān)給水處理規(guī)范；當(dāng)原水采用城市自來水時宜采用微絮凝過濾或超過濾等處理工藝。設(shè)計應(yīng)符合下列要求
1 微絮凝聚過濾系統(tǒng)宜投加凝聚劑并在進(jìn)入過濾器前設(shè)置閉式混合器。
2當(dāng)采用超濾除濁時應(yīng)設(shè)有完善的自動清洗措施，超濾前宜設(shè)預(yù)過濾措施。
3反滲透設(shè)備進(jìn)水前應(yīng)設(shè)保安過濾器。根據(jù)原水水質(zhì)可采取投加阻垢劑、離子交換和調(diào)節(jié)p H值等方法防止反滲透膜結(jié)垢。并宜按下列要求設(shè)計：
1 ）采用投加阻垢劑防止反滲透設(shè)備結(jié)垢時，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和藥劑的技術(shù)說明選擇藥劑品種和投加量。
2 ）采用鈉離子交換軟化或復(fù)床式離子交換降低原水的硬度和堿度時，離子交換器的設(shè)計參數(shù)可按本規(guī)范附錄E選用。
3 ）采用調(diào)節(jié)p H值降低碳酸鹽硬度時宜采用鹽酸。當(dāng)采用鼓風(fēng)式脫二氧化碳裝置時，其設(shè)置位置宜符合下列要求：
4 當(dāng)系統(tǒng)出水水質(zhì)指標(biāo)沒有微粒要求時設(shè)于反滲透之后；當(dāng)系統(tǒng)出水水質(zhì)指標(biāo)有微粒要求時設(shè)于反滲透之之前。采用藥劑氧化法降低有機(jī)物和抑制微生物時，其加氯量應(yīng)根據(jù)原水中的有機(jī)物含量計算得到，并使整個預(yù)處理系統(tǒng)內(nèi)保持0.5～1.0mg/L的余氯。
5. 原水經(jīng)氧化處理或原水余氯含量超過后續(xù)處理裝置的進(jìn)水要求時應(yīng)采用活性炭吸附或投加還原劑等方法進(jìn)行脫氯處理。加熱方式提高反滲透進(jìn)水水溫時，換熱器宜設(shè)于過濾器之前。
脫鹽及深度處理：
1. 脫鹽系統(tǒng)的選擇除按一般原則外，還應(yīng)按符合下列要求：
1 ）當(dāng)產(chǎn)品水水質(zhì)指標(biāo)只有電阻率時，初級脫鹽的的方案選擇應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定；當(dāng)有微粒、TOC等指標(biāo)要求時宜首選反滲透。
2 ）深度除鹽可用混合床或電脫鹽，應(yīng)根據(jù)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。
2. 反滲透裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 ）反滲透裝置一般不宜少于2套，每套反滲透裝置的保安過濾器、反滲透給水泵應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。
2 ）反滲透裝置應(yīng)有流量、壓力、溫度等控制措施，反滲透給水泵出口應(yīng)設(shè)置電動慢開閥門等穩(wěn)壓裝置。當(dāng)幾臺反滲透裝置出水并聯(lián)連接時，每臺裝置出水管上應(yīng)設(shè)置止回閥，反滲透裝置出口背壓不宜過高。
3 反滲透裝置宜按連續(xù)運(yùn)行設(shè)計，停運(yùn)時應(yīng)有沖洗措施。
4 反滲透裝置前應(yīng)設(shè)置過濾精度不小于5μm的保安過濾器。應(yīng)設(shè)置加藥和清洗設(shè)施。
5保安過濾器、反滲透給水泵宜選用不銹鋼材質(zhì)。
6 采用兩級反滲透時，進(jìn)入第二級反滲透之前宜作p H調(diào)節(jié)。

離子交換裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1 復(fù)合床、再生式混合床離子交換裝置的設(shè)計參數(shù)可參照附錄E要求設(shè)計。
2 應(yīng)根據(jù)進(jìn)水水質(zhì)合理選用復(fù)床系統(tǒng)的離子交換樹脂。當(dāng)碳酸鹽硬度較高、碳酸鹽硬度與總陽離子之比>0.5時，宜采用弱酸陽離子交換樹脂；當(dāng)強(qiáng)酸陰離子含量>2mmol/L、強(qiáng)酸陰離子與弱酸陰離子之比>2或有機(jī)物含量高時，宜采用弱堿陰離子交換樹脂。在強(qiáng)、弱型離子交換樹脂層高合適時，可選用雙層床或雙室離子交換器。
3 陽、陰離子交換器工作周期宜按每晝夜再生1～2次設(shè)計。
4 離子交換器的交換樹脂層高，應(yīng)通過計算確定，樹脂層高度不宜低于1.0m。混合離子交換器的陽、陰樹脂比例宜為1:2。
5離子交換器的備用宜按N+1原則設(shè)置，當(dāng)一臺交換器再生或檢修時，其余設(shè)備應(yīng)能滿足正常供水和自用水的要求。
6 采用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿離子交換樹脂的交換器，交換器的再生方式應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。當(dāng)進(jìn)水總含鹽量＞150mg/L，總陽離子含量＞100mg/L（CaCO3），強(qiáng)酸陰離子含量大于100mg/L(CaCO3)時宜采用逆流再生方式。
7 無石英砂墊層的離子交換器出口應(yīng)設(shè)樹脂捕捉器。
8 除二氧化碳器或真空除氣器的填料層高度，應(yīng)根據(jù)填料品種和尺寸，進(jìn)、出水二氧化碳含量，水溫以及所選定淋灑密度下的實際解析系數(shù)等因素經(jīng)計算確定。

電脫鹽系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1電脫鹽裝置的進(jìn)水水質(zhì)要求應(yīng)根據(jù)設(shè)備要求確定，也可參照表4.1.1.確定。
2 電脫鹽裝置不宜應(yīng)少于2套，其濃水宜回收至反滲透系統(tǒng)進(jìn)水
3 深度脫鹽的混合離子交換器，宜采用氮?dú)饣旌想x子交換樹脂。
4脫氧膜設(shè)備和純水儲罐氣封氮?dú)獾募兌龋粦?yīng)低于99.999%。
5紫外線除有機(jī)物裝置、膜脫氧裝置的設(shè)置應(yīng)符合第4.5節(jié)的要求。精處理（拋光）
6當(dāng)最終純水水質(zhì)要求較高時精處理系統(tǒng)應(yīng)與車間供水管道構(gòu)成大循環(huán)供水系統(tǒng)，循環(huán)附加量應(yīng)根據(jù)最終水質(zhì)要求確定，一般為最終用水量的20～50％。
7系統(tǒng)設(shè)備或裝置的設(shè)計流量應(yīng)按產(chǎn)水量+循環(huán)附加流量之和計算。

精處理混合床（拋光混床）應(yīng)符合下列要求：
1 采用非再生式。
2 離子交換樹脂應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求選擇。
3 交換器濾速宜大于40m/h。
4當(dāng)最終用水有不同水溫要求時，應(yīng)在精混床后分別換熱供水，熱純水回水應(yīng)做降溫處理。
5精處理系統(tǒng)的最終出水管上應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求設(shè)置在線的水質(zhì)監(jiān)測儀表。